本发明公开一种烷氧基硅烷组合物的纯化方法，所述组合物包含烷氧基硅烷和氯化物，其中当烷氧基硅烷包含多个烷氧基时，这些烷氧基相同；所述方法包括：1）将烷氧基硅烷组合物与醇混合，得到混合物，其中所述醇的烷基与所述烷氧基硅烷的烷氧基中的烷基相同，优选具有C1至C10烷基；2）使混合物反应，以将所述组合物中所含的有机氯化物转化为氯化氢；3）将混合物与惰性气体相接触，去除氯化氢，得到经纯化的烷氧基硅烷组合物。本发明的纯化方法便捷，能够充分地除去烷氧基硅烷组合物中的无机氯，并且不会给原有体系引入额外杂质。