一种超高纯气体气瓶烘干抽空系统
摘要:
本发明属于气瓶内清洗烘干抽空领域,尤其涉及一种超高纯气体气瓶烘干抽空系统,它包括阀机构、支撑机构、悬空机构、清洗烘干机构,其中安装于气瓶瓶嘴内的阀机构上具有在向气瓶内充气时避免空气混入气瓶的结构。本发明通过悬空机构对气瓶横平悬空并通过清洗烘干机构对横平悬空的气瓶内进行清洗烘干,对气瓶的悬空和清洗均无需人力参与,具有半自动机械化的优点,效率较高,节省人力。
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