一种高精度气氛可控变温电学测试系统
摘要:
本发明公开了一种高精度气氛可控变温电学测试系统,包括石英管,石英管开放的两端外侧均通过连接环连接有接盘,两个接盘分别连接有法兰盘,通过两侧的法兰盘将石英管两端封闭;所述石英管一侧的法兰盘二上开设有出气口,另一侧的法兰盘一上穿设有进气口、陶瓷管和航空插头,进气口与外部各气源连接,进气口与各气源连接的管路上分别安装有气体质量流量计;石英管设置在管式炉内,管式炉内还设有加热棒和温度传感器,温度传感器与控温表连接通过其控制加热棒的加热功率,精确调整测试系统内的环境气氛,实现不同氧分压下材料的电学性能检测。
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