本发明属于电子信息功能材料制备技术领域，公开了一种Y(3‑x)RxMgAl3SiO12石榴石型微波介质陶瓷材料及其制备方法。本发明的石榴石型微波介质陶瓷材料基于发明人前期研究的Y3MgAl3SiO12微波陶瓷，以不同半径的稀土元素离子取代Y离子，修饰Y‑O8十二面体配位(A位点)制备了Y(3‑x)RxMgAl3SiO12(R＝Yb,Eu,Sm,x＝0.05,0.1)微波介质陶瓷材料，制备的所有陶瓷都是单相石榴石固溶体陶瓷，陶瓷材料的表面均显示出较为均匀的晶粒分布，晶粒生长良好，有较高的致密化，且陶瓷材料的相对介电常数εr为8.1～11，品质因数Q×f为60169GHz～81914GHz，谐振频率温度系数τf为‑38.4ppm/℃～‑25.5ppm/℃，微波介电性能良好。