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发明公开
CN115508944A 光刻机光纤座标显像系统 审中-实审

  • 专利标题： 光刻机光纤座标显像系统
  • 申请号： CN202110722879.0
    申请日： 2021-06-23
  • 公开(公告)号： CN115508944A
    公开(公告)日： 2022-12-23
  • 发明人: 刘俊
  • 申请人： 刘俊
  • 申请人地址： 重庆市永川区南大街小桥子通用厂家属院平房6-12
  • 专利权人： 刘俊
  • 当前专利权人： 刘俊
  • 当前专利权人地址： 重庆市永川区南大街小桥子通用厂家属院平房6-12
  • 主分类号： G02B6/06
  • IPC分类号： G02B6/06 ;  G03F7/20
光刻机光纤座标显像系统
摘要：
光刻机光纤座标显像系统。本发明是将4万根光纤线，整齐的排列组合在一个约10厘米的方框面积内，使之形成一个由众多小点组合而成的座标面积基础，从而为下一步光显像的工作打下基础。光纤的另一端，每一根光纤线都接入暗室(或暗管中)，当端部的紫色激光源闪光的时候，这根光纤就可以运送紫色激光了。本发明通过电脑控制终端的每一根激光光源的开和关，从而使前端的光纤组阵基座出现我们需要的光的图案。
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