一种复合结构陶瓷型芯及其制备方法
摘要:
一种复合结构陶瓷型芯及其制备方法,其中复合结构陶瓷型芯包括:硅基陶瓷型芯基体,所述硅基陶瓷型芯基体内具有若干空心孔;位于空心孔中的氧化铝内芯;所述氧化铝内芯与所述硅基陶瓷型芯基体通过粘结剂进行粘接固定。由于所述氧化铝内芯的高温抗蠕变性能优于所述硅基陶瓷型芯基体的高温抗蠕变性能,在后续单晶叶片生长过程中,氧化铝内芯能够有效的限制所述硅基陶瓷型芯基体在高温下产生较大变形,提升复合结构陶瓷型芯整体的高温抗蠕变能力和工作寿命,进而有利于提升单晶叶片的产品质量和成品率。另外,在复合结构陶瓷型芯的脱除过程中,由于所述复合结构陶瓷型芯的主体部分仍是硅基陶瓷型芯基体,其仍然具备良好的化学脱除性能。
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