本发明公开了一种微型叉指电容式湿度传感器的设计方法，包括：对氧化铝前体进行水解，得到溶胶溶液；对所述溶胶溶液进行胶溶；对胶溶后的所述溶胶溶液进行去杂；对去杂后的所述溶胶溶液进行粘合，以得到粘合后的所述溶胶溶液；在基板的表面上进行金属化镀膜；刻蚀所述金属化镀膜，以得到基板上的叉指电极；对所述叉指电极进行清洁、沉积薄膜、干燥、烧结，以得到微型叉指电容式湿度传感器。本发明检测精度高，响应时间快，且所采用的滴涂法制备方法简单易实现，同时沉积薄膜厚度保证了电极不易被击穿，提高了制作的成品率。