Invention Grant
- Patent Title: 一种用于真空镀膜膜厚测试的支架
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Application No.: CN202211544312.XApplication Date: 2022-12-04
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Publication No.: CN115533792BPublication Date: 2023-03-10
- Inventor: 许晓晨 , 林文治 , 李柏仪 , 钱鑫 , 陈守军 , 张坤 , 王言锋 , 郑守磊
- Applicant: 徐州市检验检测中心
- Applicant Address: 江苏省徐州市云龙区商聚路12号
- Assignee: 徐州市检验检测中心
- Current Assignee: 徐州市检验检测中心
- Current Assignee Address: 江苏省徐州市云龙区商聚路12号
- Agency: 深圳天融专利代理事务所
- Agent 程华
- Main IPC: B25B11/00
- IPC: B25B11/00 ; G01B21/08
Abstract:
本发明涉及真空镀膜设备领域,尤其涉及一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,包括支撑圈,所述支撑圈的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构,所述位置调节机构的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构,所述支撑杆相靠近的一端均固定连接在吊杆的下端外周,本发明通过位置调节机构调节样品的位置,不仅节省了测试成本,而且使测试结果更加准确,且通过样品夹持机构内的限位组件和连接组件以及调节组件,实现了在母板的样品切割尺寸出现误差时,仍然能将母板的样品夹紧,并且夹持时具有一定的缓冲效果,避免直接对母板的样品进行硬性夹持导致其发生破裂损坏的情况。
Public/Granted literature
- CN115533792A 一种用于真空镀膜膜厚测试的支架 Public/Granted day:2022-12-30
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