本发明涉及涂层检测技术领域，特别是涉及一种热障涂层结构完整性太赫兹评价装置及其使用方法。本发明利用激光扫描机构对待测物体进行扫描，设备调节机构根据激光扫描机构输出的扫描成像信号可以实现太赫兹探针沿X轴、Y轴和Z轴方向上的自由移动，同时太赫兹探针可相对于太赫兹发射设备进行角度调节，从而使太赫兹探针能在空间中能大范围、多方位和多角度移动，结合三目立体空间定位法，实现对待测点的精确定位。本发明从传统太赫兹检测设备在曲面热障涂层结构完整性评价方面的局限性出发，针对太赫兹无损评价装置移动不便和无法灵活检测等问题的改进，在进一步提升检测精度的同时，使热障涂层结构完整性评价更加智能化。