一种晶圆输送盘及输送装置
摘要:
一种晶圆输送盘及输送装置,属于晶圆生产用输送装置技术领域,晶圆输送盘包括:承载板及压板。承载板顶面具有沉孔,承载板的前后端贯穿开设有矩形孔,矩形孔与沉孔连通,矩形孔的底面与沉孔的底面齐平,承载板的底部沿前后方向贯穿开设有滑槽,滑槽与沉孔的连通。压板设于沉孔内,压板的底面与沉孔的底面之间设有弹性件,压板的顶面沿前后方向的两侧均设有凸起部。输送装置,用于转移上述的晶圆输送盘并推出晶圆输送盘中的晶圆,输送装置包括输送轨道及推料机构。输送过程中具有良好的防尘效果及稳定性。
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