本发明涉及电子前驱体纯化领域，尤其涉及钽源前驱体的纯化方法，包括以下步骤：（S.1）将吸附剂分散于不具有挥发性的惰性液体介质中，得到吸附浆料；（S.2）将粗品钽源前驱体溶于吸附浆料中，使得粗品钽源前驱体与吸附剂相接触，从而使得粗品钽源前驱体中的杂质被吸附剂所吸附；（S.3）提升吸附浆料的温度至钽源前驱体的蒸发温度，使得钽源前驱体蒸发，从而形成钽源前驱体蒸汽；（S.4）收集钽源前驱体蒸汽并将其冷凝，得到高纯钽源前驱体。本发明在钽源前驱体的纯化过程中通过改变对于钽源前驱体的纯化方式，简化了提纯步骤，有效提高了纯化效率以及纯化效，并且在提纯过程中还有效降低了钽源前驱体纯化过程中的能源消耗。