本发明公开了一种高密度大气压碳氟等离子体射流的产生方法，属于大气压低温等离子体应用领域。本方法采用CF4或Ar/CF4混合气体作为工作气体，使用脉冲调制微波电源激励放电，基于同轴谐振腔原理设计放电装置，在装置开口端产生局域增强电场，高效电离工作气体，产生高密度、温度可控的大气压碳氟等离子体射流。本方法产生的大气压碳氟等离子体射流适用于聚合物绝缘材料的表面氟化处理，可以弥补现有的碳氟等离子体密度不高、对材料表面氟化程度不充分的缺点。