透明材料光学层析缺陷检测方法、检测系统及介质
摘要:
本发明提供了一种透明材料光学层析缺陷检测方法、检测系统及介质,包括:驱动被测透明物沿预定方向移动;对被测透明物的运动方向的缺陷进行暗场成像、对被测透明物的运动方向以外的其他方向的缺陷进行明场成像、对被测透明物垂直于运动方向的侧面进行层析成像,以及对被测透明物进行透射从而对被测透明物的表面灰尘进行透射成像;对采集到的图像分别进行缺陷检测。本申请采用偏振透射光区分透明物体表面的划伤缺陷与灰尘,结合光学层析技术,对透明材料内部缺陷进行成像,为保证样品测试时间,系统结合了分时曝光技术,既保证了缺陷检出率,又保证了样品检测速度,进而满足透明材料快速高检出率的缺陷检测需求。
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