发明公开
- 专利标题: 一种用于环保型绝缘气体全氟异丁腈泄漏的传感器件、检测方法和应用
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申请号: CN202211241224.2申请日: 2022-10-11
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公开(公告)号: CN115586222A公开(公告)日: 2023-01-10
- 发明人: 肖淞 , 吴鹏 , 李祎 , 唐炬 , 张晓星
- 申请人: 武汉大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区珞珈山街道八一路299号
- 专利权人: 武汉大学
- 当前专利权人: 武汉大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区珞珈山街道八一路299号
- 代理机构: 武汉科皓知识产权代理事务所
- 代理商 李炜
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12
摘要:
本发明公开了一种用于环保型绝缘气体C4F7N泄漏的传感器件、检测方法和应用。该传感器件以二氧化锡(SnO2)颗粒掺杂的碳化钛(Ti3C2Tx)薄片作为气敏材料(SnO2@Ti3C2Tx),再将该材料通过滴涂的方式覆盖至叉指电极上形成气敏传感器。所述气敏材料中,SnO2作为捕获C4F7N分子的增敏单元,Ti3C2Tx作为传感层基底以降低器件内阻,增敏单元和基底间的协同效应可显著提升器件响应和恢复时间并显著降低工作温度;所述传感器在静态泄漏模拟中能够在3min内产生响应,并在40min内达到稳定。本发明通过水热法在碳化钛中引入二氧化锡显著地提高了材料对C4F7N的反应活性,使其兼具较低的工作温度与较高的灵敏度,在室温检测C4F7N的泄漏方面有明显优势。