检查系统和方法
摘要:
本发明涉及检查系统和方法。公开了一种检查系统,包括:承载装置;至少一个射线源,每个射线源包括单独壳体以限定真空空间并且包括封装在壳体内的多个靶点;和探测器组件。检查系统构造成使得至少一个射线源能够围绕旋转轴线相对于承载装置在多个扫描位置之间转动,并且至少一个射线源和探测器组件能够相对于承载装置沿旋转轴线升降。检查系统构造成:当至少一个射线源相对于承载装置位于多个扫描位置中的一个时,至少一个射线源和探测器组件相对于承载装置沿旋转轴线升降并且至少一个射线源发射X射线;并且当至少一个射线源和探测器组件相对于承载装置升降预定距离后,至少一个射线源围绕旋转轴线相对于承载装置转动到多个扫描位置中的另一个。
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