测序芯片及其制备方法
摘要:
本发明提供一种测序芯片。该测序芯片包括:芯片主体、核酸以及膦酸多聚物膜,其中,该芯片主体包括多个同层设置的芯片颗粒,该芯片颗粒是将芯片基质沿着晶圆层的切割线进行切割后获得的,该芯片颗粒是将芯片基质沿着晶圆层的切割线进行切割后获得的,该芯片基质包括:晶圆层,该晶圆层上具有均匀分布的切割线;第一氧化硅层,该第一氧化硅层由氧化硅构成,形成在该晶圆层的上表面;过渡金属氧化物层,该过渡金属氧化物层由过渡金属氧化物构成,形成在该第一氧化硅层的上表面;该核酸固定在该过渡金属氧化物层;该膦酸多聚物膜由多聚膦酸聚合物构成,形成在该过渡金属氧化物层的上面。
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