本发明公开了一种面型测量系统和设备，面型测量系统包括按光路依次设置的准直扩束件、光束整形组件、分光件、样品台、第一反射件、探测器和第二反射件。其中，光束依次经过准直扩束件扩束准直，光束整形组件横向扩束后，经分光件分成样品光路和参考光路。样品光路经样品台后反射至第一反射件，第一反射件将光束垂直反射回样品台后，再经分光件反射至探测器中；参考光路射至第二反射件后，再经第二反射件反射经过分光件后反射至探测器。本发明通过折叠光路、二次折返、增设参考光路的方式提高面型测量系统的敏感性、稳定性、准确性，且采用直观的光斑测量方式、简易的组件降低测量成本，且拓宽了使用范围。