真空检漏系统及方法
摘要:
本发明的真空检漏系统及方法涉及检测技术领域,真空检漏系统包括真空泵、用于在受检物上形成真空腔室的真空件、连接在真空泵与真空件之间的连接管路、设置在连接管路上的稳压阀、用于检测真空腔室压力的压力检测装置、以及连接稳压阀的控制装置;根据压力检测装置测得的压力值,控制装置控制稳压阀开启或闭合;控制装置还根据稳压阀的闭合时长,控制稳压阀开启;如此,一方面免去人力调节真空腔室压力的繁琐,另一方面还提高了压力调节精度;再者,避免漏检及错检,提高检漏结果的可靠性。
0/0