本发明涉及气体绝缘设备内部异物检测方法和装置，包括以下步骤：获取气体绝缘设备腔体内部图像并校正处理；根据图像的色阶直方图数据判断气体绝缘设备腔体内部的光照情况，并调节补光灯功率；图像经补光后，获得异物的起点、端点和弧形异物的切点位置，转换为像素坐标，得到异物在腔体内的附着位置。在气体绝缘设备腔体的手孔处接入一高压屏蔽罩，将检测异物所需的高速相机置于高压屏蔽罩内并设置补光灯，高速相机获得气体绝缘设备腔体内部的图像信息经校正后，根据图像的色阶直方图数据判定腔体内部的光线情况，自动调节补光灯功率，从而更容易的确定异物的起点、端点和弧形异物的切点，最终得出异物在腔体内的附着位置和情况。