发明公开
- 专利标题: 量子芯片封装结构以及量子芯片器件
-
申请号: CN202211313885.1申请日: 2022-10-25
-
公开(公告)号: CN115662956A公开(公告)日: 2023-01-31
- 发明人: 余玄 , 张祥 , 吴本南 , 唐鹏举
- 申请人: 量子科技长三角产业创新中心
- 申请人地址: 江苏省苏州市相城区青龙港路286号长三角国际研发社区启动区9C座101
- 专利权人: 量子科技长三角产业创新中心
- 当前专利权人: 量子科技长三角产业创新中心
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市相城区青龙港路286号长三角国际研发社区启动区9C座101
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 张博
- 主分类号: H01L23/13
- IPC分类号: H01L23/13 ; H01L23/00 ; H01L29/66
摘要:
本发明提供一种量子芯片封装结构以及量子芯片器件,所述量子芯片封装结构包括封装底座、连接结构以及封装盖板;所述封装底座具有封装面,所述封装面上凹设有封装槽,所述封装槽的底壁面上形成有第一凹槽,所述封装槽内用以安置量子芯片;所述连接结构设于所述封装底座上,用以电性连接所述量子芯片与连接器;所述封装盖板,盖设于所述封装底座上,且与所述封装面相对的端面上对应所述封装槽凹设有第二凹槽;其中,所述第一凹槽与所述第二凹槽共同形成降噪空腔。在本发明提供的量子芯片封装结构中,通过降噪空腔,使得安装至封装槽内的量子芯片对封装底座的电容减小,进而使得降噪空腔整体的腔模增大,远离芯片的工作频段,达到保护芯片的作用。