量子芯片封装结构以及量子芯片器件
摘要:
本发明提供一种量子芯片封装结构以及量子芯片器件,所述量子芯片封装结构包括封装底座、连接结构以及封装盖板;所述封装底座具有封装面,所述封装面上凹设有封装槽,所述封装槽的底壁面上形成有第一凹槽,所述封装槽内用以安置量子芯片;所述连接结构设于所述封装底座上,用以电性连接所述量子芯片与连接器;所述封装盖板,盖设于所述封装底座上,且与所述封装面相对的端面上对应所述封装槽凹设有第二凹槽;其中,所述第一凹槽与所述第二凹槽共同形成降噪空腔。在本发明提供的量子芯片封装结构中,通过降噪空腔,使得安装至封装槽内的量子芯片对封装底座的电容减小,进而使得降噪空腔整体的腔模增大,远离芯片的工作频段,达到保护芯片的作用。
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