发明授权
摘要:
本发明公开一种真空蒸镀试验装置及其方法,涉及金属真空蒸镀试验设备技术领域,包括真空腔和透明容器,真空腔通过底部的开口与透明容器连通;真空腔连通有真空泵,真空腔内部设置有待镀金属试样;透明容器上设置有用于对其加热的第一加热机构,透明容器内部盛有蒸发金属试样,且透明容器在与真空腔的连接位置设置有易断部;本发明通过设置石英坩埚,将蒸发金属试样的蒸发腔转移至真空腔的外部,工作人员能够通过透明的石英坩埚对蒸发金属试样的蒸发过程进行观察;并且透明容器具有易断部,蒸发完成后可以通过破坏易断部使得石英坩埚脱落,金属蒸汽不会回流至石英坩埚中,从而降低了蒸发金属试样的残留,利于蒸发金属试样蒸发量的准确获取。
公开/授权文献
- CN115679268A 一种真空蒸镀试验装置及其方法 公开/授权日:2023-02-03
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