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真空阀
Abstract:
本发明提供一种真空阀,在真空阀的开放时(使一对电极分离时),能够使在电极彼此之间产生的电弧不停滞在特定位置而沿着圆周方向驱动。具有一对电极(E1、E2),该一对电极被定位于以能够接触分离的方式对置的位置,具备由多个槽部(12、13)划分的电极对置面(E1s、E2s),在一对电极中,与电极对置面邻接的对置区域(8a、10a)的电流密度高于对置区域以外的电流密度。
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