本发明公开适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，包括进气主管、第一检测单元、第一电化学检测单元、储气罐、第一缓冲罐；所述进气主管连接所述第一缓冲罐的进气口，所述第一检测单元并联所述进气主管，所述第一电化学检测单元的一端连接所述进气主管，另一端连接储气罐；依次连接的多个能够单独或组合开启的能够处理不同杂质气体的净化处理模块、出气主管；位于第一个的所述净化处理模块连接所述第一缓冲罐，所述出气主管连接位于最后一个净化处理模块。本发明还公开适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择方法。本发明的有益效果：从而实现一套设备能够处理含有一种或多种任意成分的杂质气体，提高净化效率。