玻璃组合物
摘要:
本发明提供一种具有合适的热膨胀系数和转变温度,满足半导体制造领域应用的玻璃组合物。玻璃组合物,其组分以重量百分比表示,含有:SiO2:43~63%;B2O3:0~15%;Al2O3:2~15%;RO:16~60%,其中(SiO2+Al2O3)/(BaO+B2O3)为1.2~5.0,所述RO为MgO、CaO、SrO、BaO的合计含量。通过合理的组分设计,本发明获得的玻璃组合物具有合适的热膨胀系数和转变温度,适用于半导体制造领域。
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