发明授权
- 专利标题: 玻璃组合物
-
申请号: CN202211518904.4申请日: 2022-11-30
-
公开(公告)号: CN115745398B公开(公告)日: 2024-07-26
- 发明人: 毛露路 , 匡波 , 郝良振
- 申请人: 成都光明光电股份有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市龙泉驿区成龙大道三段359号
- 专利权人: 成都光明光电股份有限公司
- 当前专利权人: 成都光明光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市龙泉驿区成龙大道三段359号
- 代理机构: 成都希盛知识产权代理有限公司
- 代理商 蒲敏
- 主分类号: C03C3/093
- IPC分类号: C03C3/093 ; C03C1/00 ; C03B19/02 ; C03B25/00
摘要:
本发明提供一种具有合适的热膨胀系数和转变温度,满足半导体制造领域应用的玻璃组合物。玻璃组合物,其组分以重量百分比表示,含有:SiO2:43~63%;B2O3:0~15%;Al2O3:2~15%;RO:16~60%,其中(SiO2+Al2O3)/(BaO+B2O3)为1.2~5.0,所述RO为MgO、CaO、SrO、BaO的合计含量。通过合理的组分设计,本发明获得的玻璃组合物具有合适的热膨胀系数和转变温度,适用于半导体制造领域。
公开/授权文献
- CN115745398A 玻璃组合物 公开/授权日:2023-03-07