发明公开
- 专利标题: 金属网格的制备方法、薄膜传感器及其制备方法
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申请号: CN202180000488.6申请日: 2021-03-15
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公开(公告)号: CN115769437A公开(公告)日: 2023-03-07
- 发明人: 孟虎
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 李迎亚; 姜春咸
- 国际申请: PCT/CN2021/080873 2021.03.15
- 国际公布: WO2022/193099 ZH 2022.09.22
- 进入国家日期: 2021-03-16
- 主分类号: H01Q1/36
- IPC分类号: H01Q1/36
摘要:
本公开提供一种金属网格的制备方法、薄膜传感器及其制备方法,属于电子器件技术领域。本发明的金属网格的制备方法,其包括提供一衬底基板;通过构图工艺,在所述衬底基板上形成包括第一介质层的图形;所述第一介质层上具有网格状的第一槽部;在所述第一介质层背所述衬底基板的一侧形成第二介质层,且所述第二介质层至少淀积在所述第一槽部的侧壁上,以形成网格状的第二槽部;在所述第二槽部中形成金属材料,并至少将在所述衬底基板上的正投影与所述金属材料无重叠的所述第二介质层的材料去除,以形成金属网格。