发明授权
- 专利标题: 一种石英坩埚自动清洗系统及清洗方法
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申请号: CN202211588552.X申请日: 2022-12-12
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公开(公告)号: CN115780439B公开(公告)日: 2024-09-20
- 发明人: 钱海炳 , 许桂青 , 舒晓峰 , 徐晓军 , 季军
- 申请人: 江阴泓潮科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市江阴市利港街道贵宾路108号
- 专利权人: 江阴泓潮科技有限公司
- 当前专利权人: 江阴泓潮科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市江阴市利港街道贵宾路108号
- 代理机构: 无锡坚恒专利代理事务所
- 代理商 杜兴
- 主分类号: B08B9/24
- IPC分类号: B08B9/24 ; B08B9/44
摘要:
本发明公开了一种石英坩埚自动清洗系统,包括沿输送方向依次布置的进料工位、若干清洗室和出料工位;还包括设置于进料工位清洗室和出料工位上方的吊装机构;吊装机构包括固定机架和吊装架,吊装架通过第一横移机构和第一升降机构与吊装架连接;吊装架沿输送方向依次间隔设置有至少两个托架吊接单元;第一横移机构配置为驱动吊装架沿输送方向往复横移;第一升降机构配置为驱动吊装架沿铅垂方向升降。该石英坩埚自动清洗系统通过吊装架同时吊起两个以上的坩埚托架,实现载有坩埚的托架在进料工位、清洗室和出料工位之间的快速转移,清洗系统自动化程度和坩埚清洗效率高。本发明还公开了一种石英坩埚自动清洗方法。
公开/授权文献
- CN115780439A 一种石英坩埚自动清洗系统及清洗方法 公开/授权日:2023-03-14
IPC分类: