- 专利标题： 聚合物转化可控碳改性SiC陶瓷靶材的制备方法
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申请号： CN202211518539.7申请日： 2022-11-29
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公开(公告)号： CN115784747B公开(公告)日： 2024-01-09
- 发明人: 王海龙 , 符潆心 , 刘雯 , 王海亮 , 李明亮 , 宋博 , 邵刚 , 张锐
- 申请人： 郑州大学
- 申请人地址： 河南省郑州市科学大道100号
- 专利权人： 郑州大学
- 当前专利权人： 郑州大学
- 当前专利权人地址： 河南省郑州市科学大道100号
- 代理机构： 郑州浩德知识产权代理事务所
- 代理商 柏琼琼
- 主分类号： C04B35/565
- IPC分类号： C04B35/565 ; C04B35/622
摘要：
本申请涉及聚合物转化可控碳改性SiC陶瓷靶材的制备方法，包括：以聚碳硅烷为前驱体，经交联固化，高温裂解生成无机陶瓷，通常有残余的自由碳存在，高温裂解使自由碳石墨化程度提高；经球磨将高温裂解产物与微米级碳化硅粉体混合；结合放电等离子体烧结技术得到碳化硅陶瓷靶材。本申请实施例中得到的碳化硅陶瓷靶材致密度高，纯度高，电导率可调，在功率器件和微波射频器件领域具有广泛应用，此外方法操作简单，能耗低，适用范围广。
公开/授权文献
- CN115784747A 聚合物转化可控碳改性SiC陶瓷靶材的制备方法 公开/授权日：2023-03-14