发明授权
- 专利标题: 一种光学镜片真空镀膜设备及使用方法
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申请号: CN202310077131.9申请日: 2023-02-08
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公开(公告)号: CN115786867B公开(公告)日: 2023-04-28
- 发明人: 刘有亮
- 申请人: 江苏浩纳光电股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市高新区湘江路1433号5幢1002号
- 专利权人: 江苏浩纳光电股份有限公司
- 当前专利权人: 江苏浩纳光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市高新区湘江路1433号5幢1002号
- 代理机构: 北京达友众邦知识产权代理事务所
- 代理商 齐兴
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50 ; C23C14/24
摘要:
本发明属于真空镀膜设备技术领域,具体的说是一种光学镜片真空镀膜设备及使用方法,包括设备底座,所述设备底座的顶部设有控制柜,所述控制柜的一侧设有镀膜柜,所述镀膜柜的后侧与控制柜的后侧之间连接有真空泵。在镜片镀膜的过程中,电机能够带动扇叶转动并产生风,随后扇叶产生的风能够在导向板的作用下吹在罩体的内壁上,从而在导向板的顶部位置形成一道环形的气墙,此时上升的蒸汽离子会因为受到该气墙的阻挡以及在气流的带动作用,从而沿着罩体的内壁向下缓慢的拂过镜片的底面,进而能够在提高蒸汽离子利用率的同时,还能够将蒸汽离子均匀的吹附在镜片的底部,提高镜片的镀膜效率和镀膜的均匀性。
公开/授权文献
- CN115786867A 一种光学镜片真空镀膜设备及使用方法 公开/授权日:2023-03-14
IPC分类: