发明公开
CN115786914A 一种铝质天线蚀刻方法
审中-实审
- 专利标题: 一种铝质天线蚀刻方法
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申请号: CN202111058899.9申请日: 2021-09-10
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公开(公告)号: CN115786914A公开(公告)日: 2023-03-14
- 发明人: 李俊 , 肖竞
- 申请人: 大富科技(安徽)股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市高新区燕南路17号国家金融孵化产业园4号楼
- 专利权人: 大富科技(安徽)股份有限公司
- 当前专利权人: 大富科技(安徽)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市高新区燕南路17号国家金融孵化产业园4号楼
- 代理机构: 深圳市睿智专利事务所
- 代理商 郭文姬; 周慧玲
- 主分类号: C23F1/02
- IPC分类号: C23F1/02 ; C23F1/36 ; C23G1/12 ; C23C22/56 ; C23C22/76 ; B08B3/12
摘要:
本发明涉及一种铝质天线蚀刻方法,包括:步骤3000,压膜前清洗铝板表面;步骤4000,在铝板表面压膜,对压膜后铝板曝光;步骤5000,蚀刻前清洗曝光后的铝板;步骤6010,使用碱性剂蚀刻清洗后的铝板,碱性蚀刻剂浓度为15%‑20%;步骤7000,清洗蚀刻后的铝板,去除铝板表面压膜;步骤8010,对铝板酸浸表面处理,使用浓度为90‑100%的硝酸和5%‑10%的氢氟酸溶液喷淋;步骤9000,浸酸后清洗铝板。本申请通过改善现有金属蚀刻的化学蚀刻相关药水流程及工艺设计,提升生产均匀一致性,提升蚀刻品质及蚀刻因子,以达到降低5G天线无源交调的问题。
IPC分类: