一种铝质天线蚀刻方法
摘要:
本发明涉及一种铝质天线蚀刻方法,包括:步骤3000,压膜前清洗铝板表面;步骤4000,在铝板表面压膜,对压膜后铝板曝光;步骤5000,蚀刻前清洗曝光后的铝板;步骤6010,使用碱性剂蚀刻清洗后的铝板,碱性蚀刻剂浓度为15%‑20%;步骤7000,清洗蚀刻后的铝板,去除铝板表面压膜;步骤8010,对铝板酸浸表面处理,使用浓度为90‑100%的硝酸和5%‑10%的氢氟酸溶液喷淋;步骤9000,浸酸后清洗铝板。本申请通过改善现有金属蚀刻的化学蚀刻相关药水流程及工艺设计,提升生产均匀一致性,提升蚀刻品质及蚀刻因子,以达到降低5G天线无源交调的问题。
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