本发明公开一种SF6断路器润滑脂在电弧放电时分解产物的获取方法，包括对润滑脂材料中的元素进行同位素标记处理；将同位素标记后的润滑脂材料涂敷于六氟化硫断路器的内部，然后进行电弧放电试验；对电弧放电试验过程中的产物进行采集分析，得到同位素元素的来源，完成六氟化硫断路器润滑脂材料对电弧放电分解产物影响的判断。该方法利用同位素标记的润滑脂材料进行电弧放电试验，然后通过对电弧放电试验过程中的产物进行采集分析，有效获取了产物中各元素的来源，有效明确了六氟化硫断路器中润滑脂材料对电弧放电分解产物的影响，有效提高了SF6分解产物分析法在诊断润滑脂相关潜伏性故障中的精准度。