一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法
摘要:
本发明公开了一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法,其以等静压石墨坩埚作为石墨坩埚基体进行涂层成型,成型时先利用SiC粉、Y2O3、酚醛树脂溶于无水乙醇制成均匀的SiC‑Y2O3料浆,然后将上述浆料利用浸渍法成型为过渡层,然后将Si粉、SiC粉以及石墨粉利用去离子水进行混合后加入聚乙烯醇,水浴加热得到涂层浆料;再即将上述涂层浆料以压力喷涂方式喷涂于过渡层表面,然后再送入焙烧炉中,在保护气体环境下高温烧结得到带涂层的成品等静压石墨坩埚。本发明能有效提高等静压石墨坩埚的耐高温特性和抗氧化性能,可以保证等静压石墨坩埚的耐用性。
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