- 专利标题: 射频探头、射频匹配器、射频电源及射频测量仪
-
申请号: CN202211669622.4申请日: 2022-12-25
-
公开(公告)号: CN115825529B公开(公告)日: 2023-11-17
- 发明人: 刘建生 , 王春雷 , 闫瑞鑫 , 薛俊辉 , 范强
- 申请人: 北京屹唐半导体科技股份有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
- 专利权人: 北京屹唐半导体科技股份有限公司
- 当前专利权人: 北京屹唐半导体科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
- 代理机构: 北京易光知识产权代理有限公司
- 代理商 王一; 武晨燕
- 主分类号: G01R19/00
- IPC分类号: G01R19/00 ; G01R27/02
摘要:
本公开提供了一种射频探头、射频匹配器、射频电源及射频测量仪。射频探头,包括壳体、射频管、检测模块和信号处理模块。壳体有检测孔。射频管插设于检测孔。检测模块包括电流采集单元和电压采集单元。信号处理模块包括第一差分放大器、第二差分放大器和幅相检测芯片,第一差分放大器与电流采集单元连接,第一差分放大器与幅相检测芯片连接,第二差分放大器与电压采集单元连接,第二差分放大器与幅相检测芯片连接。根据本公开的方案,通过在射频探头中设置差分放大器,可以放大差模信号,抑制共模信号的干扰,提高射频探头的测量精度。
公开/授权文献
- CN115825529A 射频探头、射频匹配器、射频电源及射频测量仪 公开/授权日:2023-03-21