本发明提供考虑断路器合闸预击穿特性的仿真方法、系统及设备，属于SF6断路器仿真技术领域。包括：步骤S1，在仿真软件建立SF6断路器受控元件模型，所述受控元件模型包括断路器合闸过程中合闸状态与SF6气体参数、以及SF6断路器断口电压之间的关系，还包括断路器合闸过程中电弧电阻阻值与电弧参数、所述SF6断路器断口电压、SF6断路器通过电流之间的关系；步骤S2，搭建模拟电力系统的SF6断路器测试电路并将所述SF6断路器受控元件模型接入所述SF6断路器测试电路；步骤S3，载入所述SF6气体参数、所述电弧参数，调整断口实时电压、实时通过电流，进行所述SF6断路器测试电路中的SF6断路器合闸预击穿的系统电磁暂态过程仿真。