发明公开
- 专利标题： 一种故障诊断方法和故障诊断装置
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申请号： CN202211564312.6申请日： 2022-12-07
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公开(公告)号： CN115831794A公开(公告)日： 2023-03-21
- 发明人: 王宪一 , 叶甜春 , 罗军 , 李彬鸿
- 申请人： 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 , 锐立平芯微电子(广州)有限责任公司
- 申请人地址： 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋;
- 专利权人： 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院,锐立平芯微电子(广州)有限责任公司
- 当前专利权人： 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院,锐立平芯微电子(广州)有限责任公司
- 当前专利权人地址： 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋;
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 高勇
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66 ; H01L21/67
摘要：
本申请提供了一种故障诊断方法和故障诊断装置。在该故障诊断方法中，利用获取到的晶圆的缺陷信息和晶圆的故障位元信息，筛选出晶圆的致命缺陷，即筛选出导致晶圆中位元故障的晶圆缺陷；之后，根据获取到的晶圆的缺陷诊断结果信息，确定出造成致命缺陷的原因。由于致命缺陷是导致位元故障的晶圆缺陷，所以造成致命缺陷的原因即为导致位元故障的原因，因此本申请提供的故障诊断方法可以及时诊断出导致晶圆中位元故障的原因。
IPC分类:
