本发明提供了一种不同硅价态的SiOx原位包覆纳米硅负极材料及其制备方法和应用。本发明以纳米硅做为原料，在马弗炉中进行热氧化反应，通过控制反应温度及反应时间制备出具有不同硅价态的SiOx包覆层(SiO2、SiO1.5、SiO中的一种或多种)，不同硅价态的SiOx包覆层电化学性能差异巨大，低价态的SiOx包覆层(SiO1.5、SiO)具有电化学活性，从而优化Si@SiOx负极材料的电化学性能与力学性能。本发明制备流程简单，材料一致性良好，使硅材料的容量得以充分发挥。