本发明涉及一种用于12英寸晶圆半导体制造的法兰式快排阀，包括本体组件、能相对本体组件做左右活塞运动的活塞组件、用于与石英槽连接的石英槽连接组件、用于将石英槽连接组件与本体组件连接的连接柱组件以及能用于排液的外壳组件，外壳组件设置于石英槽连接组件与本体组件之间；上述活塞组件包括对石英槽直接实施排液启闭控制的密封外套，上述石英槽连接组件包括配合前述密封外套对石英槽直接实施排液启闭控制的垫圈；密封外套呈管状，密封外套的外周呈左小右大的两段状或密封外套的外周中部设有环状的凸起；密封外套与垫圈共轴线设置，垫圈的中央通孔处的内壁与密封外套的左段外壁之间存在缓放液通道。该快排阀震动极细微且离子及颗粒析出低。