本发明公开了一种融合GNSS与MEMS深部位移技术的一体化位移监测设备及方法，位移监测设备包括GNSS监测装置和埋设在监测点土体内且上下依次连接的N节阵列传感器，每节阵列传感器均包括刚性杆以及固定设置在刚性杆顶部的MEMS三轴加速度计；GNSS监测装置包括GNSS立杆和设置在GNSS立杆顶部的GNSS接收天线，GNSS立杆的底部通过下压件与首节阵列传感器的顶部连接。本发明通过将MEMS三轴加速度计与刚体杆进行固联的方式形成单节阵列传感器，同时对多个单节阵列传感器进行串联，并将最顶部的一节阵列传感器与GNSS监测设备的立杆进行固联，通过发明算法模型，实现对监测点地面与深层的位移监测。