本发明提供的一种光学检验装置，包括：基台，其上设置有待测结构组件，适于容纳待测组件；第一检测组件，设置在基台上，第一检测组件上设置有第一光学检测单元和第一运动结构，第一光学检测单元朝向待测组件方向设置，第一光学检测单元适于在第一运动结构的作用下运动并检测待测组件的第一特征；第二检测组件，设置在基台上，第二检测组件上设置有第二光学检测单元、第二运动结构和若干辅助检测单元，辅助检测单元与第二光学检测单元相邻设置，辅助检测单元与第二光学检测单元组成反射检测的光路，第二光学检测单元适于在第二运动结构的作用下运动，并通过反射检测待测组件的第二特征。