一种基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜的制备方法

发明授权

CN115874159B 一种基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜的制备方法有权

摘要：

本发明提出一种基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜的制备方法，属于材料技术领域。通过化学气相沉积的方法，在碳吸收剂吸波薄膜上涂覆碳化硅涂层，使吸波薄膜具备耐高温抗氧化能力，实现小批量实验室级别的耐高温吸波薄膜的制备，得到的基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜具有良好的耐高温特性和便捷的介电可调性。

公开/授权文献

信息查询

中国专利公布公告 Global Dossier Espacenet

IPC分类:

C	化学；冶金
C23	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）
C23C16/00	通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C14/00）
C23C16/22	.以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30	..沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C16/32	...碳化物