一种多渐变脊波导DFB激光器芯片
摘要:
本发明公开了一种多渐变脊波导的DFB激光器芯片,其在衬底上形成至少两个激光器腔;各激光器腔沿y方向的两端面分别为HR涂层解理面和AR涂层解理面;各激光器腔沿y方向刻蚀有一呈喇叭形的脊条,脊条的窄端位于HR涂层解理面,脊条的宽端位于AR涂层解理面,由此使得脊条的等效折射率沿y方向发生变化。相对于传统多激光器腔均匀宽度脊波导的DFB激光器芯片,本发明的单模测试成本更低。本发明的相邻两激光器腔内的起始光栅之间具有△L的相对位置差,使得两激光器腔的HR涂层解理面处于不同的光栅位置,由此确保至少有一个激光器腔的HR涂层解理面在光栅处的位置处于或接近所需范围,从而使该DFB激光器芯片具有较高的SMSR,单模良率可达到100%。
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