发明授权
- 专利标题: 一种多渐变脊波导DFB激光器芯片
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申请号: CN202310126502.8申请日: 2023-02-17
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公开(公告)号: CN115912056B公开(公告)日: 2023-07-04
- 发明人: 柯程 , 鄢静舟 , 薛婷 , 季晓明 , 王坤 , 杨奕 , 吴建忠
- 申请人: 福建慧芯激光科技有限公司
- 申请人地址: 福建省泉州市惠安县惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号
- 专利权人: 福建慧芯激光科技有限公司
- 当前专利权人: 福建慧芯激光科技有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省泉州市惠安县惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号
- 代理机构: 泉州市博一专利事务所
- 代理商 苏秋桂
- 主分类号: H01S5/22
- IPC分类号: H01S5/22 ; H01S5/065 ; H01S5/12
摘要:
本发明公开了一种多渐变脊波导的DFB激光器芯片,其在衬底上形成至少两个激光器腔;各激光器腔沿y方向的两端面分别为HR涂层解理面和AR涂层解理面;各激光器腔沿y方向刻蚀有一呈喇叭形的脊条,脊条的窄端位于HR涂层解理面,脊条的宽端位于AR涂层解理面,由此使得脊条的等效折射率沿y方向发生变化。相对于传统多激光器腔均匀宽度脊波导的DFB激光器芯片,本发明的单模测试成本更低。本发明的相邻两激光器腔内的起始光栅之间具有△L的相对位置差,使得两激光器腔的HR涂层解理面处于不同的光栅位置,由此确保至少有一个激光器腔的HR涂层解理面在光栅处的位置处于或接近所需范围,从而使该DFB激光器芯片具有较高的SMSR,单模良率可达到100%。
公开/授权文献
- CN115912056A 一种多渐变脊波导DFB激光器芯片 公开/授权日:2023-04-04