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工业用机器人和制造系统
Abstract:
本发明提供一种在真空中输送输送对象物的工业用机器人,能提高通用性,并且能简化真空区域与大气区域的边界部分的密封构造。工业用机器人(1)具备:两个手部(8、9);臂(10),其具有分别可转动地连接手部(8、9)的两个前端侧臂部(13、14)和可转动地连接两个前端侧臂部(13、14)的共用臂部(15);摆臂(11),其在前端侧可转动地连接共用臂部(15);主体部(12),其可转动地连接摆臂(11)的基端侧;臂驱动机构,其使臂(10)相对于摆臂(11)伸缩,使手部(8、9)沿水平方向直线移动,并且使共用臂部(15)相对于摆臂(11)转动;以及摆臂驱动机构,其使摆臂(11)相对于主体部(12)转动。
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