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电连接装置
Abstract:
本发明提供一种在由多个接触件构成的接触件群的顶端与被检查体的电极接触时能吸收各接触件上产生的压力的大小的差异、从而能抑制探针的破损等的电连接装置。本发明为一种电连接装置,其将检查装置与接触被检查体的电极的多个接触件之间电连接,其特征在于,具备:基板构件;以及多个接触件,它们设置在基板构件的一端部侧,接触被检查体的所述电极,基板构件具有压力差抑制部,该压力差抑制部抑制对被检查体的电极的接触带来的接触件间的压力差。
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