一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构
Abstract:
本发明涉及一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构,包括:衬底;两条硅纳米柱子链,平行设置在所述衬底上;每条硅纳米柱子链包括高度相同的普通柱和缺陷柱,所述普通柱和缺陷柱排成一列,所述缺陷柱设置在所述硅纳米柱子链末端的第一根和第三根的位置;所述缺陷柱的半径大于所述普通柱的半径。本发明能够在不同的输入光相位下进行3D光链路的开关调制,并在不同波长下表现出相反的开关特性。
Patent Agency Ranking
0/0