本发明公开了一种基于温度应力下的传感器可靠性测试方法及系统，方法包括：对待测试传感器进行分析，识别待测试传感器的薄弱模块；以待测试传感器的薄弱模块施加温度应力进行加速退化实验，并获得退化实验数据；根据所述退化实验数据，确定退化轨迹模型；根据退化轨迹模型，确定待测试传感器的伪失效寿命，并对伪失效寿命进行分布参数估计；根据伪失效寿命的分布参数进行退化机理一致性进行检验；对经过退化机理一致性检验的伪失效寿命的分布参数建立可靠性模型；确定关于电场应力的相关系数；根据可靠性模型和相关系数，计算待测试传感器的考虑电场应力的可靠度值；该方法能够提高预测结果的可靠性和置信度。