具有大体积炔基侧基的二胺单体、聚苯并噁唑前体、感光性树脂组合物及其应用
摘要:
本发明公开了一种具有大体积炔基侧基的二胺单体、聚苯并噁唑前体、感光性树脂组合物及其应用,该二胺单体中同时含有邻羟基苯胺基团和芳香型大体积炔基侧基,可以用于制备具有大体积炔基侧基的聚苯并噁唑前体树脂,进而可以制备正型感光性树脂组合物,该正型感光性树脂组合物显影时对比度优异;此外,由此感光性树脂组合物可制备聚苯并噁唑固化膜,由于二胺单体向树脂中引入了芳香型大体积炔基侧基,从而可以有效降低固化膜介电常数,炔基的交联同时可以改善固化膜的成膜性,提高其耐溶剂性和耐热性。
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