本发明涉及金属材料技术领域，提供了一种低氧铝钼钨钛中间合金及其制备方法。本发明提供的低氧铝钼钨钛中间合金包括Al25.5～30.5％，Mo38.5～43.5％，W21.5～26.5％，O≤0.03％，余量为Ti以及不可避免的杂质。本发明提供的铝钼钨钛中间合金的Mo、W元素比例与TC25钛合金一致，熔炼TC25钛合金时Mo与W元素只需通过本发明的中间合金引入即可，避免了传统冶炼过程Mo和W分别加入导致的元素偏析、低熔点元素烧损等问题。本发明通过精选原料+氢化脱氧+真空熔炼的工艺结合，使中间合金氧含量保持在超低水平，降低氧对钛合金的塑性、可加工性的影响，进一步拓宽TC25钛合金应用范围。