一种曲面样品的金属镀层检测方法及系统
Abstract:
本发明属于金属镀层检测技术领域,为了解决X射线荧光检测法无法直接测量曲面镀层厚度的问题,提供了一种曲面样品的金属镀层检测方法及系统。其中,该方法包括利用校准后的X射线荧光检测仪,测量曲面样品的金属镀层厚度;根据金属镀层厚度测量值与设计厚度的差值,确定曲面样品的金属镀层是否合格;其中,X射线荧光检测仪的校准过程为:选取与曲面样品金属镀层设计厚度最接近的平面标准块,并利用平面标准块对未校准的X射线荧光检测仪进行初始校准;在平面标准块上垂直增设一间隔厚度为S的间隔块,再对初始校准的X射线荧光检测仪进行最终校准;其中,S=r‑r*cosθ,r为曲面样品的曲率半径;θ为当射线从弧顶垂直入射后,射线与弧面法线的最大角度。
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