发明公开
- 专利标题: 电池氧化铝钝化性能的确定方法、电子设备及存储介质
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申请号: CN202310293313.X申请日: 2023-03-24
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公开(公告)号: CN116013802A公开(公告)日: 2023-04-25
- 发明人: 李倩 , 王静 , 张东升 , 吝占胜 , 李青娟 , 何广川 , 李志彬 , 刘新玉 , 魏双双 , 冉祖辉 , 李龙 , 陈晨 , 刘伟 , 于波 , 张树骞
- 申请人: 英利能源发展(保定)有限公司 , 英利能源发展有限公司
- 申请人地址: 河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层;
- 专利权人: 英利能源发展(保定)有限公司,英利能源发展有限公司
- 当前专利权人: 英利能源发展(保定)有限公司,英利能源发展有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层;
- 代理机构: 河北国维致远知识产权代理有限公司
- 代理商 秦敏华
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66 ; H01L31/18 ; H01L31/06
摘要:
本发明提供一种电池氧化铝钝化性能的确定方法、电子设备及存储介质。该方法包括:将氧化铝设备维护周期划分为M个时段,并在每个时段下,分别对对应组的硅片依次进行双面氧化铝镀膜处理和双面氮化硅镀膜处理,得到各个时段对应的测试硅片组;在每个时段下,对对应的测试硅片组中第一预设数量的硅片进行氧化铝钝化性能测试,得到对应时段下测试硅片组的第一测试结果;基于每个时段下的第一测试结果,确定每个时段下测试硅片组中硅片上氧化铝的钝化性能,以便于在测试硅片组中硅片上氧化铝的钝化性能不稳定的时段对产线工艺进行调整或对氧化铝设备进行维护。本发明能够实时监控氧化铝设备维护周期内各个时段下硅片上氧化铝钝化性能的稳定性。
公开/授权文献
- CN116013802B 电池氧化铝钝化性能的确定方法、电子设备及存储介质 公开/授权日:2023-07-04
IPC分类: