将振镜与振镜支撑架相对摆动形成二维光路的方法及装置
摘要:
本发明提供将振镜与振镜支撑架相对摆动形成二维光路的方法及装置,所述方法包括:将包括振镜与振镜支撑架的转子机构固定连接在可使将振镜与振镜支撑架相对摆动机构的上部;将入射光经振镜摆动形成的扫描曲线采用函数进行参数化;利用振镜的自然振动频率与振镜支撑架的摆动机构产生共振,或者用振动产生器使得振镜与振镜支撑架的摆动机构相对摆动。本发明以振镜为激光左右扫描的频率产生机构,通过将振镜的整个支撑架放置在摆动机构上,由摆动机构提供振镜的垂直振镜轴方向的摆动,除左右扫描方向以外还有垂直方向的摆动,能够将振镜与振镜支撑架相对摆动使得入射激光形成二维扫描光路,形成曲线图案,实现了高速大面积的二维扫描曲线。
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