Invention Grant
- Patent Title: 一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用
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Application No.: CN202310302466.6Application Date: 2023-03-27
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Publication No.: CN116027609BPublication Date: 2023-06-13
- Inventor: 姜校顺 , 王宇男 , 施琪
- Applicant: 南京大学
- Applicant Address: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- Assignee: 南京大学
- Current Assignee: 南京大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- Agency: 北京品源专利代理有限公司
- Agent 赵颖
- Main IPC: G02F1/355
- IPC: G02F1/355 ; G02F1/35 ; G03F7/00
Abstract:
本发明提供一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用,所述具有面包环结构的微腔为环状结构,包括微环芯腔和环状硅柱,所述微环芯腔包括环状平面和围绕所述环状平面的外边缘一周设置的微环芯,所述微环芯同样呈环状;所述环状硅柱与所述环状平面相连,用来支撑所述微环芯腔;本发明提供的上述具有环状结构的微腔中的环状硅柱的体积较小,进而有效降低了激光回流过程的热损失,使得激光回流过程所需激光功率较低;同时在制备过程中仅需一次刻蚀和激光回流的步骤即可获得更高品质因子的微腔,为回音壁模式微腔提供了一种新的结构。
Public/Granted literature
- CN116027609A 一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用 Public/Granted day:2023-04-28
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