一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用
Abstract:
本发明提供一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用,所述具有面包环结构的微腔为环状结构,包括微环芯腔和环状硅柱,所述微环芯腔包括环状平面和围绕所述环状平面的外边缘一周设置的微环芯,所述微环芯同样呈环状;所述环状硅柱与所述环状平面相连,用来支撑所述微环芯腔;本发明提供的上述具有环状结构的微腔中的环状硅柱的体积较小,进而有效降低了激光回流过程的热损失,使得激光回流过程所需激光功率较低;同时在制备过程中仅需一次刻蚀和激光回流的步骤即可获得更高品质因子的微腔,为回音壁模式微腔提供了一种新的结构。
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